CCD器件的物理性能可以用特性參數描述,它的特性參數可分為內部參數和外部參數兩類。內部參數描述的是與CCD存儲和轉移信號電荷有關的特性(或能力),是器件理論設計的重要依據;外部參數描述的是與CCD應用有關的性能指標,是應用CCD器件時必不可少的。
1、電荷轉移效率和轉移損失率
電荷轉移效率是表征CCD器件性能好壞的一個重要參數。如果上一電極原有的信號電荷量為Q0,轉移到下一個電極下的信號電荷量為Q1,兩者的比值稱為轉移效率,即
η=Q1/Q2×100%
在電荷轉移過程中,沒有被轉移的電荷量設為Q’=Q1-Q0,Q’與原信號電荷Q0之比記作ε,即 ε= Q’/Q0=ηn=(1-ε)n
對于一個二相CCD,若移動m位,則n=2m。如果η=99.9%,m=512,最后輸出的電荷量將為初始電荷量的36%,可見信號衰減比較嚴重;當η=99.9%時,此時Qn/Q0≈0.9。所以,若要保證總效率在99%以上,轉移效率必須達到99.99%以上。一個CCD器件如果總轉移效率太低,就失去使用價值,也就是說,如果η一定,那么器件的位數就受到限制。
影響轉移效率的因素包括自感應電場、熱擴散、邊緣電場以及電荷表面態及體內缺陷的相互作用等等,其中最主要的因素還是表面態對信號電荷的俘獲。
2、工作頻率
由于CCD器件是工作在MOS的非平衡狀態,所以驅動脈沖頻率的旋轉顯得十分重要。頻率太低,熱激發的少數載流子過多的填入勢阱從而降低了輸出信號的信噪比。頻率太高,又會降低總轉移效率,減小了輸出信號幅值,同樣降低了信噪比。
為了避免熱激所產生的少數載流子對信號電荷的影響,信號電荷從一個電極轉移到另一個電極的轉移事件t1必須小于少數載流子的壽命τ。對于三相CCD,一個電極的轉移時間內需要完成三相臍動脈沖周期T1,因此,可以推算出各相的驅動脈沖工作頻率下限f1
3/fL=3TL=t1<τ 所以fL≥3/τ
另一方面,如果驅動脈沖的工作頻率下限fL取得太高,又會導致部分電荷來不及轉移而使轉移損失率增大。假定達到要求轉移效率η所需的轉移時間為t2,則給予信號電荷從一個電極轉移到另一個電極的轉移時間Th應大于或等于t2.以三相CCD為例,根據轉移時間Th可以推算出驅動脈沖的工作頻率的上線fh
Th/3=1/(3fh)≥t2
fh≤(3t2)-1
CCD器件的工作頻率應選擇在下限fL和上線fh之間
3、電荷儲存量
CCD的電荷儲存容量表示在電極下的勢阱中能容納的電荷量。由前面的介紹可知,CCD是由一系列的MOs電容構成的,它對電荷的存儲能力可以近似的當做電容對電荷的存儲來分析。
4、靈敏度
靈敏度定義為入射在CCD像元上的單位能流密度σ所產生的輸出電壓Us的大小。
5、分辨率
CCD是由離散的像元組成的,在一定的測試條件下,它能傳感的景象光學信息的最小空間分布,稱為分辨率,用Tx表示。
6、光譜響應
CCD的光譜響應是指器件在相同光能量照射下,輸出的電壓Us與光譜長λ之間的關系,光譜響應率由器件光敏區材料決定。光譜響應隨光波長的變化而變化的關系稱為光譜響應函數(或曲線)。