利用電磁感應(yīng)原理將被測非電量(如位移、壓力、流量、振動等)轉(zhuǎn)換成線圈自感量工或互感量M的變化,再由測量電路轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化量輸出,這種裝置稱為電感式傳感器。
電感式傳感器的核心部分是可變自感或者可變互感,在被測量轉(zhuǎn)換成線轎自感或者互感的變化時(shí),一般要利用磁場作為媒介或者利用鐵磁體的某些現(xiàn)象。這類傳感器的主要特征是具有線圈繞組。
電感式傳感器具有以下優(yōu)點(diǎn):
(1)結(jié)構(gòu)簡單,工作可靠,壽命長;
(2)測量精度高,零點(diǎn)穩(wěn)定,輸出阻抗小,抗干擾能力強(qiáng)，
(3)靈敏度高,分辯率高(在測量長度時(shí)一般可以達(dá)到0.1pm,測量角度時(shí),可以達(dá)到0.1)#
(4)性能穩(wěn)定,重復(fù)性能好。
電感式傳感器的主要缺點(diǎn)是:靈敏度.線性度和測量范圍相互制約,傳感器自身頻率響應(yīng)低,不適于快速動態(tài)測量。一般說來,電感式傳感器的分辯率和示值誤差與示值范圍有關(guān),示值范圍大時(shí),分辯率和示值精度相應(yīng)降低。這種傳感器能實(shí)現(xiàn)信息的遠(yuǎn)距離傳輸、記錄、顯示和控制,在工業(yè)自動控制系統(tǒng)中被廣泛采用。
