濕度傳感器是基于其功能材料能發(fā)生與濕度有關(guān)的物理效應(yīng)或化學(xué)反應(yīng)的基礎(chǔ)上制造的。它有將濕度物理量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的功能，這些功能可以通過(guò)與濕度有關(guān)的電阻或電容的變化，長(zhǎng)度或體積的脹縮以及結(jié)型器件或MOS器件的某些電參數(shù)的變化，例如PN結(jié)擊穿電壓、電流放大系數(shù)、反向漏電流、MOS器件的溝道電阻等的變化而得以實(shí)現(xiàn)。濕度傳感器的特性參數(shù)主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數(shù)、響應(yīng)時(shí)間、濕滯回差`感濕特征量一一相對(duì)濕度特性曲線等。
濕度傳感器都有其自身的感濕特征量，例如電阻、電容、擊穿電壓、溝道電阻等。濕度敏感器件的感濕特征隨環(huán)境相對(duì)濕度(或絕對(duì)濕度)變化的曲線，稱(chēng)為器件的感濕特征量一一環(huán)境濕度特征曲線(簡(jiǎn)稱(chēng)感濕特性曲線)。圖3-2是二氧化鈦-五氧化二釩濕度敏感器件的感濕特性曲線。
濕度敏感器件的感濕特性曲線表示器件的感濕特征基隨環(huán)境相對(duì)濕度的變化規(guī)律。從感濕特性曲線可以確定器件的最佳使用范圍及其靈敏度;通過(guò)器件的感濕特性曲線還可以探討改進(jìn)器件性能的途徑和工作機(jī)理。性能良好的濕度敏感器件的感濕特性曲線，應(yīng)當(dāng)在整個(gè)相對(duì)濕度范圍內(nèi)變化連續(xù)，其斜率一致(即線性)而且大小適中。斜率過(guò)小，曲線平坦，靈敏度降低;斜率過(guò)大則曲線太陡，將造成測(cè)量上的困難。
