柵式數字傳感器主要有光柵和磁柵兩種,它們廣泛用于測量位移以及與位移有關的非電物理量。
根據柵式數字傳感器的工作原理,可分為光柵和磁柵兩種。光柵是由很多等節(jié)距的透光縫隙和不透光的刻線均勻相間排列構成的光電器件。按其原理和用途 ,它又可分為物理光柵和計量光柵。物理光柵是利用光的衍射現象制造的,主要用于光譜分析和光波長等量的測量。計量光柵主要利用莫爾(Moire)現象 ,測量長度、角度、速度、加速度振動等物理量。計量光柵按應用范圍不同又分為透射光柵和反射光柵兩種,具體制作時又可制作成線位移的長光柵和角位移的圓光柵。
按光柵的表面結構,又可分為幅值光柵和相位(閃耀 )光柵等。幅值光柵是利用照相復制工藝加工成柵線與縫隙為黑白相間結構,故又稱為黑白光柵。相位光柵的橫斷面呈鋸齒狀,常用刻劃工藝加工。除了上述光柵外,目前還研制了激光全息光柵和偏振光柵等新型光柵。
磁柵是一種磁電轉換器,其工作原理類似錄音帶。
