傳感器的集成化,可大大提高其工作性能,增強(qiáng)它的可靠性和性價(jià)比。目前,基于硅集成工藝的傳感器技術(shù)已成為傳感器技術(shù)的一個(gè)研究熱點(diǎn),其優(yōu)點(diǎn)具體如下:
1)性能大大提高
由于采用集成工藝技術(shù),可使傳感器特性均勻、各元件之間配置協(xié)調(diào)、匹配良好。不需要對(duì)其元件進(jìn)行校正和調(diào)整。從而大大提高其整體的性能。
2)可靠性得到提高
傳感器集成化,則整體體積大大縮小,這對(duì)消除傳感器結(jié)構(gòu)上的某些不可靠因素起到了很大作用。
3)成本得到進(jìn)一步降低
其生產(chǎn)過(guò)程中采用的大規(guī)模集成電路等制造工藝,使得生產(chǎn)規(guī)模化,從而降低了傳感器的生產(chǎn)成本。
4)功能多樣化
傳感器集成化的結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)傳感器同時(shí)實(shí)現(xiàn)多種參數(shù)的測(cè)量。
