集成化智能傳感器的基本組成方框圖如圖15-2所示，它包括傳感器、補償和校正、調整電路、輸入接口、微處理器和信息接口等。
智能傳感器集成化的概念包含兩方面的含義，一方面，是指把許多同樣的單個傳感器按一定規(guī)律進行陣列集成，這樣形成的傳感器就可以對空間參數(shù)進行測量，而形成的傳感器稱為一維傳感器或二維傳感器(按排列方式不同)。例如,CCD圖像傳感器即屬于此類傳感器。它有線列CCD和面陣CCD之分,由許多單個光傳感器(像素)組成,由于單個像素很小,一般約為10μm左右,所以可獲得非常清晰的圖像。另一方面,是指把傳感器的功能集成化。比如,將傳感器與其后的各種信號調整電路集成在同一芯片上,形成單片集成傳感器;或者將它們分別集成在幾塊芯片上,然后再將這幾塊芯片組裝在一起形成混合集成傳感器,例如混合集成壓力傳感器就是這樣設計的。
