邊緣效應不僅使電容傳感器的靈敏度降低而且產生非線性，因此應盡量消除或減小它。
適當減小極間距，使極徑與間距比很大，可減小邊緣效應的影響，但易產生擊穿并有可能限制測量范圍。也可以采用電極做得極薄使與極間距相比很小的辦法來減小邊緣電場的影響。除此之外，可在結構上增設等位環來消除邊緣效應，如圖4-5所示。圖a為帶有等位環的電容式傳感器原理圖，圖b為其實例。圖中2為傳感器內電極(圓形)，1為另一電極(可以在傳感器內也可以是被測物)，3為等位環。等位環3安放在電極2外，且與電極2電絕緣但等電位，這樣就能使電極2的邊緣電力線平直，兩電極間的電場基本均勻，而發散的邊緣電場發生在等位環3的外周不影響工作。絕緣層4的厚度約100~200hm，隨被測物最大位移的增大而適當加厚。等位環的外面還加有套簡5，供測量時夾持用，可接大地以防止外界電場的干擾，且與等位環3電絕緣。連接傳感器與電子線路的電纜最好采用雙屏蔽低電容85pF/m)電纜，其芯線6接電容傳感器的電極2，內屏蔽層7接等位環3，外屏蔽層8接大地。
如果不能采用等位環結構而邊緣電場又不能忽略的情況下，為了精確的設計和計算，必要時需用電場圖解法來解決。
應該指出，邊緣效應所引起的非線性與變極上距型電容傳感器原理上的非線性正好相反，因此在一定程度上起了補償作用，但這是輛性了靈敏度來改善傳感器的非線性。
