電容式傳感器是高阻抗傳感元件，很易受外界干擾的影響。當外界干擾(如電磁場)在傳感器上和導線之間感應出電壓并與信號一起輸至電子線路時就會產生誤差。干擾信號尼夠大時，儀器無法正常工作，甚至會損壞。此外，接地點不同所產生的接地電壓差也是一種干擾信號，也會帶來誤差和故障。防止和減小干擾的某些措施已在上面有所討論，現歸納如下：
①屏蔽和接地，用良導體做傳感器殼體，將傳感元件包圍起來，并可靠接地，用金屬網套住導線彼此電絕緣(即屏蔽電費)，金屬網可靠接地，用雙層屏蔽線且可靠接地，用雙層屏蔽界殼且可擎接地，傳感器與電子線路前置級一起裝在良好屏蔽這體內，帝體可車接地等等。
②增加原始電容值，降低容抗。
③導線間的分布電容有靜電感應，因此導線和導線雪離得遠，線要盡可能短，最好成直角排列，若必須平行排列時可采用同軸屏蔽線。
④盡可能一點接地，避免多點接地。地線要用粗的良導體或寬印制線。
