電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點:
1、溫度穩(wěn)定性好
電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，又因本身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚徽。而電阻式傳感器有電阻，電感式傳感器有銅損等，易發(fā)熱產生零漂。
2、結構簡單、適應性強
電容式傳感器結構簡單，易于制造，易于保證高的精度，可以做得非常小巧，以實現(xiàn)某些特殊的測量，能工作在高溫、低溫、強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中，可以承受很大的溫度變化，承受高壓力、高沖擊、過載等，能測超高壓和低壓差，也能對帶磁工件進行測量。
3、動態(tài)響應好
電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個10-5N)，需要的作用能量極小，又由于它的可動部分可以做得很小很薄，即質量很既，因此其固有頻率很高，動態(tài)響應時間短，能在幾兆替的頻率下工作，特別適用于動態(tài)測量。又由于其介質損耗小可以用較高頻率供電，因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數(shù)，如測量振動、既時壓力等。
4、可以實現(xiàn)非接觸測量，具有平均效應
例如非接觸測量回轉軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測最時，電容式傳感器具有平均效應，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。
電容式傳感器除了上述優(yōu)點外，還因其帶電極板間的靜電引力很小，所需輸入力和輸入能量極小，因而可測極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辯力高，能敏感0.01μm甚至更小的位移，由于其空氣等介質損耗小，采用差動結構并接成橋式時產生的零殘極小，因此允許電路進行高倍率放大，使儀器具有很高的靈敏度。
