電子鹵素檢漏儀是一種精密的檢漏儀器，靈敏度可達5g/年以下，靈敏度高的電子檢漏儀可檢漏出0.5g/年左右的氟利昂泄漏量。
電子鹵素檢漏儀的結構如圖6-22所示。用鉑絲作陰極、鉑罩作陽極構成一個電場，通電后鉑絲達到熾熱狀態，發射出電子和正離子，儀器的探頭(吸管)借助微型風扇的作用，將探測處的空氣吸入，并通過電場。如果被吸入的空氣中含有鹵素(如R12、R22、R134等)，與熾熱的鉑絲接觸即分解成鹵化氣體，電場中一旦出現鹵化氣體，鉑絲(陰極)的離子放射量就要迅猛增加，所形成的離子流隨著吸入空氣中的鹵素多少成比例地增減。因此，可根據離子電流的變化來確定泄漏量的多少。離子電流經過放大并通過儀表顯示出量值，同時發出音響信號。
由于電子檢漏儀的靈敏度很高，要求使用時被測試環境沒有鹵素和其他煙霧污染，因此不宜在污染量超過允許值的電冰箱生產或維修車間內檢測。用電子鹵素檢漏儀進行精確檢漏時，必須在空氣新鮮的場所進行。檢漏儀的靈敏度是可調的，由粗檢到精檢分為幾擋。在有一定污染的環境中檢漏時，可選擇適當擋次。
使用電子檢漏儀檢漏時，應使探頭與制冷系統被檢部位保持3-5mm的距離，探頭移動的速度不應超過50mm/s。使用過程中應嚴防大量氟利昂氣體吸入檢漏儀，因為過量的氟利昂會對檢漏儀的電極造成短時或永久性污染，使其探測的靈敏度大大降低。
