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真空測量儀表概述

   2020-10-16 子琪1708
核心提示:在真空技術中真空測量是與真空獲得具有同等重要而且密切相關的組成部分。因為只有通過準確和可靠的真空測量,才能掌握在真空容器中所獲得的真空是否達到了要求和滿足工藝條件。

    真空技術中真空測量是與真空獲得具有同等重要而且密切相關的組成部分。因為只有通過準確和可靠的真空測量,才能掌握在真空容器中所獲得的真空是否達到了要求和滿足工藝條件。測量真空度的儀器稱為真空計或真空規。根據當今已獲得的真空度范圍已寬達10?~<10ˉ12Pa,但沒有一種真空計能測量如此寬的壓力范圍,又因為不同真空區域的性質也不相同,所以產生了許多品種的真空計。


    原則上來說真空計可分為絕對真空計和相對真空計兩大類。凡能從其本身測得的物理量直接測得氣體壓力的真空計稱為絕對真空計,這種真空計測精確度較高,主要用作校準的基準量具。當壓力低于100Pa很難進行直接測量時,產生了利用氣體在低壓力下的某些物理特性(如熱傳導、電離、滯性和應變等)與壓力的關系作間接測量的相對真空計,它必須用絕對真空計標定和校準后才能用于真空測量,其測量精確度較低,但它能直接讀出被測壓力、使用方便,在實際應用中占絕大多數。

 

 
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