自凈器 自凈器是一種可移動的空氣凈化機組，有過濾型自凈器和靜電型自凈器。自凈器主要用于:①操作點的臨時凈化措施;②設里在非單向流潔凈室中渦流區內，以減少灰塵滯留的可能。小型的自凈器(風量在500m3/h以下)用于家用，即空氣清凈器。
風機過濾器單元(FFU: Fan Filter Unit) 是把高效過濾器(附預過濾器)和風機組成送風口單元，風量在2000m3/h左右。作為大型單向流潔凈室的“過濾器天棚”，由工廠批量生產，并可以調速,方便設計和安裝。在現代高級別工業潔凈室中，使用十分廣泛，圖44-18為FFU的構造與性能。
高效過濾器送風口 與上述單元不同的是它不具備風機，都用于非單向流潔凈室的送風管道末端，對潔凈室起“把關”作用。
凈化單元 這是水平送風的凈化機組，和自凈器不同的是送風面積大(風量大)，組合起來可構成水平單向流的送風方式。
