真空系統(tǒng)的材料
真空系統(tǒng)的材料除了要求強度、剛度足夠，加工容易，化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性好，價廉易得等以外，還要求氣密性好、放氣率低、穆透率低和在工作溫度下飽和蒸氣壓低。
放氣率是指氣體從置于真空系統(tǒng)中的材料上自然而然地釋放出來的速率。常用材料的放氣率如表4-1所示。
滲透率是指真空系統(tǒng)外的氣體通過材料進入真空系統(tǒng)內(nèi)的速率。
材料的蒸氣壓是指將某種一定溫度的材料置于絕對真空中，該材料的分子蒸發(fā)達到飽和狀態(tài)所具有的壓力。各種金屬、化合物的蒸氣壓可從真空設(shè)計手冊等有關(guān)資料中查取。材料的放氣率大、滲透率高和蒸氣壓高都會在抽空時增加抽氣負荷，影響系統(tǒng)的真空性能。
