真空度的測量

真空測量是指對真空度的測量，而真空的高低通常是用氣體的壓力來表示的。在真空中遇到的氣體壓力都很低，要直接測量它的壓力效應(yīng)是極不容易的。因此，測量真空度的辦法往往是先在氣體中引起一定的物理現(xiàn)象，然后測量這個(gè)過程中與氣體壓強(qiáng)有關(guān)的物理量，再設(shè)法確定出真實(shí)壓力來。例如壓縮式真空計(jì)就

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是先將氣體壓縮，使其壓力增高，測出此增高后的壓力，再設(shè)法計(jì)算出原來的壓力。

任何具體的物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系，都是在某一壓力范圍內(nèi)才最顯著，超出這個(gè)范圍，關(guān)系就變得微弱了。因此任何方法都有一定的測量范圍。表8-1列出了一些真空計(jì)的測量范圍。

在凍干機(jī)中最常用的真空計(jì)有彈性元件真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電容式真空計(jì)。