電容式薄膜真空計(jì)
結(jié)構(gòu)及工作原理根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變面引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容式薄膜真空計(jì)，它由電容薄膜規(guī)管和測(cè)量線路兩部分組成。根據(jù)測(cè)量電容的方法不同，測(cè)量線路可分為有偏位法和零位法兩種，其中，零位法具有較高的測(cè)量精度。
零位法電容式薄膜真空計(jì)的結(jié)構(gòu)如圖8-14所示。它由電容式薄膜規(guī)管、測(cè)量電橋電路、直流補(bǔ)償電源、低頻振蕩器、低頻放大器、相敏檢波器和指示儀表等組成。
電容式薄膜規(guī)管中間裝著一張金屬?gòu)椥阅て湟粋?cè)有一固定電極，當(dāng)膜片兩側(cè)的壓差為琴時(shí)，固定電極與膜片形成一個(gè)靜態(tài)
電容C。，它與電容C，串聯(lián)后作為測(cè)量電橋的一臂，電容C2、C；和C4、Cs的串聯(lián)電容作為其他三條橋臂。
金屬?gòu)椥阅て瑢⒈∧ひ?guī)管隔離成兩個(gè)室，其內(nèi)的氣體壓力分別為被測(cè)壓力p，和參考?jí)毫，（pb<10-3Pa）。在兩側(cè)主體壓力相同時(shí)調(diào)節(jié)測(cè)量電橋電路使其平衡，即指示儀表歸零；當(dāng)被測(cè)壓力p：>b時(shí)，壓力差1一p使膜片發(fā)生應(yīng)變，引起電容C。改變，破壞了測(cè)量電橋電路的平衡，指示儀表亦有相應(yīng)的指示，調(diào)節(jié)直流補(bǔ)償電源電壓U對(duì)電容C，充電，使其靜電力與壓差相等，電橋電路重新達(dá)到平衡，指示儀表又重新指零。根據(jù)補(bǔ)償電壓大小，就能得出被測(cè)壓1；并且當(dāng)p1>p。時(shí)，測(cè)量結(jié)果就是絕對(duì)壓力，即
（8-5）
式中，p1為被測(cè)壓力（Pa）；U為補(bǔ)償電壓；K為規(guī)管常數(shù)。
