短時(shí)間停電保護(hù)
①停電時(shí)冷阱與真空泵之間的隔離閥自動(dòng)關(guān)閉。
②升華中若停電，箱、阱閥開(kāi)啟，以利用冷阱中的冷量捕捉升華的水蒸氣。
③停電時(shí)，機(jī)器的程序狀態(tài)、運(yùn)行數(shù)據(jù)、設(shè)定參數(shù)均自動(dòng)存儲(chǔ)。
④復(fù)電時(shí)，程序按原中斷處重新運(yùn)行，同時(shí)所有電機(jī)按設(shè)定順序依次啟動(dòng)，以免多臺(tái)電機(jī)同時(shí)啟動(dòng)對(duì)電網(wǎng)造成電流沖擊。
