真空系統故障-真空泵組的真空性能不良

真空泵組的真空性能不良

①泵溫太高?？赡苁潜糜偷恼扯冉档停Σ猎龃螅槐玫拈y片或內腔有刮傷或有渣屑嵌入，造成摩擦增大：裝配時瑞蓋螺釘松緊不一，造成轉子軸心偏移和單面磨損。應拆泵修復。

②泵油有問題。油位過低，密封不嚴；油被污染呈乳黃色：油路不通，泵腔內未保持適當的油量，應加油或換油。

③泵本身漏氣。密封圈、氣鎮閥墊圈損壞或未壓緊，排氣閥片損壞使密封不良，應更換密封圈。

④進氣口過濾網堵塞使抽氣量減少，應清洗。

⑤氣鎮閥沒有關好或損壞，

⑥泵輪鍵被切斷，輪空轉。